性能参数：
适用晶元尺寸范围：Ø10~150mm；
旋涂速度：100~10000rpm；
转速分辨率：1rpm；
旋涂加速度：100-10000rpm/s；
最大旋涂时间：3000s；
旋涂时间精度：0.1s；
可存储多种不同基片的旋转涂敷工艺参数。每个涂敷工艺流程可以设置多步不同的旋转速度
产品外型尺寸：300mm(W)x 380mm(D) x 260mm(H)
腔体尺寸：Ø220mm
重量：10KG
电压：220V/50HZ
配置：标配吸盘一组（10、25、50、100）mm、无油真空泵一台
产品特点：
多种旋涂内腔可选：PP、PMMA 和 PTFE
采用分体式结构，易清洁和移动；
合肥重光电子科技有限公司
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7 英寸彩色触屏控制，易学易用；
精确设置实验参数，运行状态实时显示；
采用高级 PLC 程序控制，可编程，实现快速旋涂和多步编程旋涂；
具有电机进胶保护功能；管路易疏通设计；
